国产光刻机迈向高精度、高效率新时代，技术突破引领行业新风向

摘要：国产光刻机取得最新进展，正逐步迈向高精度、高效率的新时代。当前，国内光刻机技术不断突破，实现了更高精度的光刻能力，提高了生产效率，推动了国内半导体产业的发展。这一重要进展标志着中国在光刻机领域的自主研发能力不断...

阅读全文 潜姝丽 846 次浏览 2024-12-16 中国刀剑